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掲載日：2019年8月10日
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多層膜フィルムに生じた欠陥トラブルの原因究明（依頼試験）
依頼試験や技術相談などについて、SAITECによる支援の事例を紹介します。
| 1.相談内容 | 多層膜フィルムに表面欠陥トラブルが発生したので原因を究明したいとの相談があった。 |
|---|---|
| 2.対応内容 | 集束イオンビーム加工観察装置（FIB）を用いて多層膜フィルムの断面加工及び観察を行った。 |
| 3.結果 | 多層膜内部に異物が確認されたことから多層膜形成時における異物の混入が原因であることがわかった。 その後、多層膜処理工程を改善することでトラブルは解決した。 |
| 4.依頼試験・開放機器 | 集束イオンビーム加工観察装置による試験 |
| 5.分類 | 異物 |
| 集束イオンビーム加工観察装置（FIB） |  |
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