非接触微細形状測定機

【2020年3月】機器が更新されました。ぜひご活用ください！

機器番号	506
機器分類	精密測定機器
メーカー名	株式会社日立ハイテクサイエンス
型番等	VS1800
装置概要	光の干渉を利用して表面形状を計測する装置です。数ミリメートルの広い観察範囲（最大4.4 mm角）を数秒で計測可能でありながら、高い垂直分解能0.1 nmを有します。また、透明多層膜の膜厚計測も可能であるという特徴を併せ持った装置です。
主な仕様	【垂直分解能（Sq分解能）】0.1 nm（Waveモード） 【傾斜面測定角度】 45°以上（HiSlopeHRモード） 【対物レンズ】2.5倍,5倍,10倍,20倍,50倍 【測定視野】225 μm角～4.4 mm角（単視野） 画像連結可
研修レベル	1 研修を受講する必要はありません。利用方法の詳細は担当にご相談ください。
使用料（1時間当たり）	1,600円
装置写真

※指導員の指導を受けて機器を利用する場合は、使用料の他に指導料が1時間あたり2,500円かかります。
※一部の機器は、事前に研修を受ける必要があります。詳しくは、研修の受講方法をご覧ください。
※機器の利用時に必要となる一部の消耗品については、使用量に応じて実費精算できます。詳しくは、消耗品精算をご覧ください。