集束イオンビーム加工観察装置(FIB-SEM)

機器番号	505
機器分類	表面観察機器
メーカー名	日本電子株式会社
型番等	JIB-4600F
装置概要	細く絞ったGaイオンを試料に照射して任意微小部の断面加工と高分解能SEM観察を行う装置。
主な仕様	倍率：×30～×300,000（FIB）、×20～×1,000,000（SEM） ステージ範囲：X:50mm,Y:50mm,Z:1.5～41mm T:-5°～70°
研修レベル	2 有料の操作研修の受講が必要です。詳しくは表下「操作研修概要」をご覧ください
使用料（1時間当たり）	5,920円
装置写真

※指導員の指導を受けて機器を利用する場合は、使用料の他に指導料が1時間あたり2,500円かかります。
※一部の機器は、事前に研修を受ける必要があります。詳しくは、研修の受講方法をご覧ください。
※機器の利用時に必要となる一部の消耗品については、使用量に応じて実費精算できます。詳しくは、消耗品精算をご覧ください。