イオンスパッタリング装置

機器番号	29
機器分類	表面観察機器
メーカー名	株式会社日立ハイテクノロジーズ
型番等	E-1030
装置概要	導電性のない試料を電子顕微鏡やEPMAで分析するための前処理装置。
主な仕様	最大試料径：50mm 蒸着ターゲット：Au、Au-Pd、Pt、Pt-Pd
研修レベル	1 研修を受講する必要はありません。簡単な説明を受ければ、利用できます
使用料（1時間当たり）	110円
装置写真

※指導員の指導を受けて機器を利用する場合は、使用料の他に指導料が1時間あたり2,500円かかります。
※一部の機器は、事前に研修を受ける必要があります。詳しくは、研修の受講方法をご覧ください。
※機器の利用時に必要となる一部の消耗品については、使用量に応じて実費精算できます。詳しくは、消耗品精算をご覧ください。