平面ミリング装置による調製

1. 試験内容

光学顕微鏡による試験等における試料調製です。
試料にアルゴンイオンビームを照射し、原子や分子をはじき飛ばすことにより平滑な試料表面を得ます。
機械研磨に比べ、試料に不純物が混入することなく、物理的な応力をかけない加工方法です。

2. 主な測定試料

鉄鋼、鋳鉄、アルミニウム合金、チタン 等

3. キーワード

ミリング、研磨、CP、クロスセクションポリッシャー

平面ミリング装置

試料サンプル：電子基盤上の銅ーニッケルめっき（左ー調製前、右ー調製後）